Вакуумные напылительные системы
Термическое оборудование
Оборудование для напылительных систем
Восстановление б/у вакуумных систем
Проектирование и создание вакуумных систем
Напыление покрытий вакуумными методами

Контакты компании РОБВАК
Тел.: +7 (495) 966 28 14
Email: request@robvac.com
Главная | Каталог | Вакуумные напылительные системы | Вакуумные напылительные системы кластерного типа. | Вакуумные напылительные системы кластерного типа , производство РОБВАК, Россия-Корея

Вакуумные напылительные системы кластерного типа , производство РОБВАК, Россия-Корея



Вакуумная  система кластерного типа Cluster M предназначена для  напыления магнетронным методом металлов, керамики, оптических покрытий, может быть скомпонована как од задачи R&D, так и под серийный выпуск продукции.Кластерные системы – отдельный подвид вакуумных напылительных шлюзовых машин напыления, когда различные технологические подзадачи можно разнести в разные вакуумные камеры, объединенные центральным шлюзом с манипулятором, который, в зависимости от реализуемого технологического процесса, перемещает подложки для обработки между камерами. Если вы ищите воплощение своих идей в машинах подобной компоновки, то кластерная вакуумная напылительная установка Cluster M производства компании РОБВАК ваш выбор. Система напыления кластерного вида позволит вам реализовать в разных вакуумных камерах два абсолютно независимых процесса, которые не будут взаимно влиять друг на друга. При этом манипулятор, находящийся в шлюзе между рабочими вакуумными камерами, позволит перемещать обрабатываемые изделия между шагами технологического цикла без развакуумирования, что значительно снизит степень превносимой дефектности.

Вакуумная  система кластерного типа Cluster M предназначена для  напыления магнетронным методом металлов, керамики, оптических покрытий, может быть скомпонована как од задачи R&D, так и под серийный выпуск продукции.

Cluster M - Кластерная  вакуумная напылительная установка компании РОБВАК

Особенности вакуумной напылительной  системы кластерного типа:

  • Система  имеет две рабочие вакуумные камеры, шлюзовой отсек и один перчаточный бокс для загрузки/выгрузки изделий из шлюза
  • Роботизированный манипулятор позволяет автоматически и сверхточно осуществлять перемещение образцов между камерами
  • Система держателей образцов кассетного типа
  • Вакуумная напылительная кластерная установка поставляется с тремя наклоняемыми 8 дюймовыми магнетронами, каждая камера имеет дополнительные порты для интеграции напылительных модулей
  • Возможность реализации процессов как со-осаждения, так и последовательной обработки
  • Полная автоматизация технологического процесса
  • Возможность комплектации прецизионной лазерной системой маскирования
  • Обеспечивается максимально равномерный прогрев в размерах 200х200 мм, что особенно актуально для стеклянных подложек

Технические характеристики кластерной системы:

  • Емкость кассеты: 5 изделий диаметром 200 мм
  • Общий габарит системы: длинаxвысотаxширина: 3,5м x 2,4м x 3,3м
  • Блоки питания источников напыления: ВЧ 3 кВт в кол-ве 2 шт.,источники постоянного тока (DC) 5 кВт в кол-ве 3 шт.
  • Максимальный нагрев до 600 градусов Цельсия (SiC – нагреватель)
  • Подача газов и смесей: Ar, N2, O2, H2, C2H2
  • Откачная система
  • Высоковакуумный турбомолекулярный насос (ТМН) 400 л/с и пластинчато-роторный 1000 л/мин для шлюзового модуля
  • Высоковакуумный турбомолекулярный насос (ТМН) 2400 л/с и спиральный насос 1900 л/мин для рабочих камер

 

 Ниже приведены данные по тестовым испытаниям образца 200х200 мм   в вакуумной кластерной установке на предмет равномерности нанесенного покрытия на различных магнетронных ячейках кластерной системы:


Таблица. SiO2 (толщина)

Катод         Точки измерения / нм                                        Среднее значение Равномерность
№1 1 2 3 4 5 103 ±1.94%
102 106 102 103 102

 

 

 

 

Таблица. Al2O2 (толщина)

Катод         Точки измерения / нм                                        Среднее значение Равномерность
№2, №3 1 2 3 4 5 104.2 ±0.96%
105 105 103 103 102

 

 

 

 

Таблица. Al (толщина)

Катод         Точки измерения / нм                                        Среднее значение Равномерность
№4 1 2 3 4 5 151.4 ±1.65%
152 150 150 150 155

 

 

 

 

Таблица. ITO (толщина)

Катод         Точки измерения / нм                                        Среднее значение Равномерность
№5 1 2 3 4 5 140.2 ±0.67%
140 139.4 140.7 140.7 140.8

 

 

 

 

По всем дополнительным техническим вопросам, пожалуйста, обращайтесь в компанию РОБВАК.  Наши высоквалифицированные специалисты проконсультируют вас и предложат самые лучшие решения для вашиx конкретных задач.