Вакуумные напылительные системы
Термическое оборудование
Оборудование для напылительных систем
Восстановление б/у вакуумных систем
Проектирование и создание вакуумных систем
Напыление покрытий вакуумными методами

Контакты компании РОБВАК
Тел.: +7 (495) 966 28 14
Email: request@robvac.com
Главная | Каталог | Вакуумные напылительные системы | Вакуумные напылительные системы кластерного типа.

Вакуумные напылительные системы кластерного типа , производство РОБВАК, Россия-КореяВакуумные напылительные системы кластерного типа , производство РОБВАК, Россия-Корея

Кластерные системы – отдельный подвид шлюзовых машин напыления, когда различные технологические подзадачи можно разнести в разные вакуумные камеры, объединенные центральным шлюзом с манипулятором, который, в зависимости от реализуемого технологического процесса, перемещает подложки для обработки между камерами.