Вакуумные напылительные системы
Термическое оборудование
Оборудование для напылительных систем
Восстановление б/у вакуумных систем
Проектирование и создание вакуумных систем
Напыление покрытий вакуумными методами

Контакты компании РОБВАК
Тел.: +7 (495) 966 28 14
Email: request@robvac.com
Главная | Каталог | Вакуумные напылительные системы | Поточные системы напыления на листовые материалы | Напылительные Inline-системы (шлюзовые системы линейной структуры) , производство РОБВАК, Россия-Корея

Напылительные Inline-системы (шлюзовые системы линейной структуры) , производство РОБВАК, Россия-Корея



Напылительная установка типа inline - современная, высокопроизводительная шлюзовая система с линейной компоновкойРано или поздно перед научно-исследовательской группой встает вопрос коммерциализации технологии. Что это значит в вакуумной сфере? Конечно же уменьшение межцикловых операций по загрузке, предварительной обработке, выгрузке изделий. Так называемые inline-системы или шлюзовые системы линейной структуры – вот ответ для задач напыления на протяженные плоские изделия (будь то металлические листы или стекло).

Оптические покрытия, изностойкие, декоративные, модификация поверхности – все зависит от закладываемой технологии, но все без исключения может быть реализовано на вакуумной напылительной системе Inline LAD. Это современная, высокопроизводительная шлюзовая система с линейной компоновкой является идеальным выбором для подложек среднего размера.

Особенности вакуумной напылительной системы типа inline:

  • Возможность установки до 8 линейных электрофизических источников
  • Полная автоматизация процесса производства
  • Сканирование образцом обеспечивает максимальную равномерность оптического уровня
  • Система предварительного нагрева и ионной очистки изделий
  • Суточная производительность до 300 шт. листов габаритом до 300 мм
  • Цикловая загрузка 2 шт. 300 мм подложки

 

Основные технические характеристики данной шлюзовой системы с линейной компоновкой:

Размеры 10,5 (Д) х2,2 (В) х1,3 (Ш) м

Магнетроны на постоянном токе с БП до 10 кВт

Ионный источник с БП до 3 кВт

Подача газов (аргон, кислород, азот)

Рабочая камера оснащена ТМН 1400 л/с с пластинчато-роторным насосом 1000 л/мин. Шлюзовая камера оснащена ТМН 800 л/с с пластинчато-роторным насосом 1000 л/мин

Система напыления на протяженные плоские изделия  – это не просто возможность компании РОБВАК, это реальное изделие, следовательно, мы можем предоставить некоторую дополнительную информацию по технологическим возможностям. Ниже приведен график, показывающий отклонение толщины по поверхности 300х200 мм для подложки, на которую был напылено два типа покрытий - Оксид цинка с примесью алюминия AZO и нитрид кремния Si3N4. 

График, показывающий отклонение толщины по поверхности 300х200 мм для подложки, на которую был напылено два типа покрытий - Оксид цинка с примесью алюминия AZO и нитрид кремния Si3N4.

 

По всем дополнительным техническим вопросам, пожалуйста, обращайтесь в компанию РОБВАК.  Наши высоквалифицированные специалисты проконсультируют вас и предложат самые лучшие решения для вашиx конкретных задач.