Вакуумные напылительные системы
Термическое оборудование
Оборудование для напылительных систем
Восстановление б/у вакуумных систем
Проектирование и создание вакуумных систем
Напыление покрытий вакуумными методами

Контакты компании РОБВАК
Тел.: +7 (495) 966 28 14
Email: request@robvac.com
Главная | Каталог | Вакуумные напылительные системы | Вакуумные напылительные системы VSM, VSR, VSEB

Вакуумная установка магнетронного напыления VSM

Вакуумная установка VS производства российской компании РОБВАК является универсальной напылительной установкой с возможностью частичной модификации и изменения функционала под требования пользователя. На данном типе оборудования возможна реализация магнетронного распыления с одного или нескольких магнетронов, резистивного, электронно-лучевого. Учитывая, что система создавалось для НИОКР, существует большой набор опций, позволяющий расширить возможности базовой комплектации.

Система резистивного напыления VSRСистема резистивного напыления VSR

Вакуумная установка VSR производства компании РОБВАК является вакуумной напылительной установкой для резистивного напыления с возможностью частичной модификации и изменения функционала под требования пользователя. В данной вакуумной напылительной установки возможно резистивное напыление с резистивных источников количеством от 2 до 6. Широкий набор опций позволит значительно расширить возможности базовой комплектации: установка источника ионов для чистки и активации поверхности, чистка поверхности перед вакуумным напылением плазменным разрядом, различные варианты оснастки под образцы (в том числе и планетарный механизм).

Система резистивного напыления VSR-BASICСистема резистивного напыления VSR-BASIC

Вакуумная напылительная установка резистивного напыления VSR-BASIC производства компании ROBVAC является недорогой вакуумной напылительной установкой для резистивного испарения материалов, и предназначена главным образом для использования в лабораториях университетов или НИИ. В данной вакуумной напылительной установке возможно резистивное напыление с резистивных источников количеством от 2 до 6. Основное отличие данной вакуумной напылительной установки терморезистивного напыления серии VSR-BASIC от серии VSR - используемые комплектующие при её сборке. Данная вакуумная напылительная система частично состоит из недорогих узлов отечественного производства, частично – из импортных комплектующих.