Вакуумные напылительные системы
Термическое оборудование
Оборудование для напылительных систем
Восстановление б/у вакуумных систем
Проектирование и создание вакуумных систем
Напыление покрытий вакуумными методами

Контакты компании РОБВАК
Тел.: +7 (495) 966 28 14
Email: request@robvac.com
Главная | Каталог | Вакуумные напылительные системы | Вакуумная напылительная установка VACLEADER | Вакуумная напылительная установка VACLEADER, производство РОБВАК, Россия

Вакуумная напылительная установка VACLEADER, производство РОБВАК, Россия



Компания РОБВАК предлагает серийно-изготавливаемые вакуумные напылительные установки с большим набором предлагаемых опций, так и установки, спроектированные по по техническому заданию заказчика.

Универсальная вакуумная напылительная система VACLEADER

Серия вакуумных установок VACLEADER – установки с относительно большими камерами D-формы (от 60 см в ширину), фронтальной дверью на весь размер камеры, с возможностью установки нескольких источников напыления (возможна разная комбинация устанавливаемых источников напыления и их количество), монтажа шлюзовых камер, имеют один из самых больших наборов опций среди напылительных систем, представленных сегодня на рынке. Существует также набор опций, позволяющий расширить возможности базовой комплектации: нагрев до больших температур, установка источника ионов для чистки и активации поверхности, различные варианты оснастки под образцы (разные модели планетарных механизмов), установка шлюзовых камер, реализация автоматической системы управления технологическим процессом (АСУ ТП). Система состоит из надежных комплектующих как  мировых так и российских производителей  компонентов вакуумного технологического оборудования.
Страна производства – Россия.

При изготовлении данной напылительной системы используются комплектующие всемирно-известных азиатских, европейских и американских производителей (затворов, насосов, магнетронов, блоков питания, регуляторов расхода газа, источников испарения, вакуумметров и т.д.), что является гарантией высокого качества системы. Высочайшая надежность вакуумной напылительной системы позволяет использовать её в промышленности для серийного производства, при этом система способна бесперебойно работать в режиме 24/7 (24 часа в сутки, 7 дней в неделю).
Инженеры компании РОБВАК прошли обучение в компаниях - производителях узлов, которые устанавливаются в вакуумных напылительных системах, поставляемых нашей компании, часть узлов поддерживается на складе, всё это в дальнейшем значительно облегчает их сервисное обслуживание. Если бюджет не позволяет приобрести установку со всеми необходимыми узлами в текущий момент, данная вакуумная напылительная система может быть заказана в конфигурации, позволяющей её последующую модификацию.

Напылительная система обеспечивает неравномерность напыления при использовании планетарного механизма <2% для пластин 100 мм и <3% для пластин из разных партий, или неравномерность менее 5% при использовании вращающегося подложкодержателя на одну пластину.

Благодаря большому выбору типоразмеров вакуумной рабочей камеры и большому количеству возможных опций, напылительная установка VACLEADER является идеальным выбором для отработки технологических процессов, мелко- и среднесерийного производства, и может быть использована в большинстве наиболее ответственных технологических процессов: полупроводниковой промышленности, МЭМС, “Lift off” технологии и для напыления оптических покрытий (в этих двух случаях устанавливается более более высокая камера, что увеличивает равномерность осаждаемой плёнки), для напыления структур со сложной стереохимической структурой и плёнок.

ОПИСАНИЕ УЗЛОВ И КОМПОНЕНТОВ ВАКУУМНОЙ НАПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ VACLEADER:

Рабочая (напылительная) вакуумная камера

Шлюзовая камера (опционно)

Вакуумная откачная система рабочей камеры

Система электрофизических устройств
    Магнетроны и блоки питания к ним
    Электронно-лучевой источник
    Оборудование для резистивного испарения

Источник ионов
    Ионный источник
    Блок питания ионного источника
    Контроллер блока питания ионного источника

Система контроля толщины покрытия

Система подачи технологических газов

Система нагрева

Подложкодержатель

Автоматическое управление

Рабочая (напылительная) вакуумная камера
Вакуумная камера вакуумной напылительной установки VACLEADER изготавливается из высококачественной нержавеющей стали (8Х18Н10 или сталь 304 по американскому стандарту) с обязательной электрополировкой поверхностей, что значительно уменьшает скорость откачки в диапазоне глубокого вакуума.
Вакуумная камера имеет D-форму в сечении, (горизонтальное сечение камеры имеет имеет форму латинской буквы D), используются камеры (Ширина х Высота) 60х80 см, 80х70 см, 80х110, 100х150 см, или же размер камер изготавливается по требованиям заказчика. Вакуумная камера напылительной системы имеет плоскую дверь. Данная форма рабочей вакуумной камеры обеспечивает удобный доступ к оснастке внутри камеры и к источникам напыления. На двери установлено 2 вакуумных окна на фланце ISO100 (для камеры 80х70 см – одно вакуумное окно. Рама и панели под вакуумной камерой изготовлены из нержавеющей стали.

В зависимости от температурных режимов технологических процессов, рабочая вакуумная камера может быть выполнена в водоохлаждаемом исполнении (по умолчанию вакуумная камера напылительной установки VACLEADER изготавливается без водяного охлаждения).
Конструкция камеры позволит в дальнейшем проводить модернизацию и изменять конфигурацию под требования реализуемой технологии. Камера имеет несколько запасных заглушенных фланцев, что позволит в дальнейшем провести её модернизацию или установить дополнительное научное или вакуумное оборудование. Камера имеет 4-6 заглушенных фланца CF2.75 (CF35), 4 фланца CF6” (CF100), 2 на боковых стенках, один на верхней крышке, один – на дне камеры), 2 фланца CF8” (CF160) на боковой поверхности. На задней поверхности для откачки камеры высоковакуумными насосами предусмотрены два фланца ISO250. В соответствии с пожеланиями заказчиков дополнительные фланцы, в том числе больших размеров, например CF10” (CF200) могут быть установлены в согласованных с заказчиком местах.
На водоохлаждаемом вводе вращения, установленном в верхней крышке камеры, крепится подложкодержатель (диск из нержавеющей стали) или планетарный механизм (базовый планетарный механизм 3х100 мм или изготавливаемый под задачи заказчика). В планетарном механизме используются только керамические подшипники (полностью керамические, из нитрида кремния – не стальные, не гибридные) для обеспечения бесперебойной работы в условиях вакуума/повышенных температур/реактивного распыления.

- Камера D-формы
- Нержавеющая сталь;
- Электрополировка
- Два окна 100 мм
- Фрезеровка паза под вакуумнуй уплотнитель двери
- Водяное охлаждение (опция)
- Большой набор заглушенных фланцев под последующие задачи заказчика
- Водоохлаждаемый ввод вращения пр-ва Rigaku
- Вращаемый подложкодержатель или планетарный механизм
- Ввод вращения на 2-20 об/мин
- Камера устанавливается на раме из нержавеющей стали, с панелями из нержавеющей стали

Шлюзовая камера (опционно)
Загрузочная камера из нержавеющей стали с электрополированными поверхностями сокращает время процесса напыления, поддерживает рабочую вакуумную камеру в чистом состоянии, предотвращает окисление испаряемых материалов. Шлюзовая вакуумная камера может быть выполнена в виде нескольких форм (цилиндрическая, в виде 6-ти проходного креста, в виде D-формы), что определяется задачей заказчика и его бюджетом.
Исходя из задач заказчика, некоторые технологические процессы могут быть вынесены в шлюзовую камеру (обезгаживание с помощью нагрева, чистка плазменным разрядом или ионной пушкой), что позволяет поддерживать рабочую вакуумную камеру в более чистом состоянии, что особенно важно во многих нанотехнологических процессах и для получения сверхчистых плёнок.
Шлюзовая камера оснащается манипулятором для перемещения образца в рабочую камеру. По согласованию с заказчиком в шлюзовой камере может быть установлен манипулятор кассетного типа (для загрузки в шлюзовую камеру нескольких пластин и последующей их подачи в рабочую вакуумную камеру), обеспечивая таким образом работу установки для серийного производства.
Для отсечения шлюзовой камеры от основной используется вакуумный затвор. Шлюзовая вакуумная камера имеет независимую вакуумную систему (безмасляный турбомолекулярный насос , форвакуумный насос, широкодиапазонный вакуумный датчик). Обращаем Ваше внимание, что ввиду того, что шлюзовая камера имеет собственную откачную безмаслянную систему, систему измерения вакуума, манипулятор загрузкой пластин, их стоимость начинается от 60 тыс долларов.

Вакуумная откачная система рабочей камеры
Откачная система обеспечивает вакууммирование рабочей камеры напылительной системы до 10-6 мм.рт.ст за 20 минут. Достижимое давление в камере за несколько часов работы откачной системы: середина 10-7 торр. При установке высоковакуумных насосов большей производительности (ТМН или криовакуумного) после предварительной подготовки (несколько откачек вакуумной камеры с напуском сухого азота) вакуумная камера напылительной системы может быть откачена до середины 10-8 торр за сутки работы, что позволяет её использовать для получения сверхчистых плёнок. Данная вакуумная напылительная система не комплектуется диффузионными насосами.

Безмаслянный высоковакуумный насос подсоединен к задней стенке вакуумной камеры, что позволяет избежать случайного попадания в насос каких-либо упавших деталей, кусочков образцов и пр. В качестве высоковакуумных средств откачки применяются безмаслянные турбомолекулярные или криовакуумные насосы на фланце ISO250.
Безмасляный турбомолекулярный вакуумный насос со скоростью 2000 л/с с керамическими подшипниками на консистентной смазке обеспечит получение безмаслянного высокого вакуума.
Форвакуумные насосы, используемые в вакуумной напылительной установке VACLEADER:
• Пластинчато-роторный двухкамерный вакуумный насос производительностью 40 или 80 куб.м/час (в зависимости от размера камеры)
• Безмасляный винтовой насос производительностью 75 куб.м/час. Винтовой насос имеет систему внутренней диагностики на базе промышленного ПЛК, что позволяет диагностировать его состояние в процессе работы и вовремя проводить профилактическое сервисное обслуживание, до его выхода из строя.

Турбомолекулярный насос 2000 л/с
Турбомолекулярный насос 2000 л/с
Вакуумный Винтовой насос 75 куб.м/час
  Винтовой насос 75 куб.м/час


Трехпозиционный затвор для дросселирования (регулирования скорости откачки высоковакуумного насоса) при напылений покрытий методом магнетронного напыления значительно уменьшает расход технологических газов.

Контроль вакуума обеспечивается широкодиапазонным вакуумметром (на базе датчика Пирани и датчика с нитью накаливания) на диапазон 1 атм – 5х10-9 торр. Корпус вакуумметра – нержавеющая сталь, что дополнительно защищает вакуумметр от внешних воздействий. В вакуумметре установлены 2 нити накаливания, при сгорании одной автоматически начинает работать вторая. В случае перегорания обоих нитей накаливания нужно заменить всего лишь «сенсорную» часть вакуумметра, которая составляет прим. 30% от стоимости вакуумметра. Вакуумметр имеет съёмную электронную часть и может выдержать прогрев до 1800С. Управление вакуумметром и индикация уровня вакуума осуществляются с помощью контролера вакууметра. Контроллер и вакуумметр имеют интерфейс RS485, что позволяет легко интегрировать их в систему автоматизации.
Материалы вакуумметра, контактирующие с вакуумом: стекло, металлы и их сплавы и керамика. Данный вакуумметр выдерживает избыточное давление 4 атм. Устанавливаемые на вакуумной напылительной системе вакуумметры внесены в Государственный Реестр Средств Измерения РФ.

 

Широкодиапазонный вакуумметр на диапазон 1 атм -  1х10-9 торр
Широкодиапазонный вакуумметр на диапазон 1 атм - 1х10-9 торр
      3-х позиционный затвор с фланцем ISO250
  3-х позиционный затвор с фланцем ISO250

• ТМН со скоростью откачки 2000 л/с, фланец ISO250
• Форвакуумный насос
• 3-х позиционный затвор с фланцем ISO250
• Широкодиапазонный вакуумметр на диапазон 1 атм - 1х10-9 торр


Система электрофизических устройств

Магнетроны и блоки питания к ним.
Магнетрон с пневматической заслонкой и с регулируемым наклоном головыВ рабочей вакуумной камере напылительной установки могут быть установлены несколько магнетронов с диаметрами распыляемых мишеней 50, 75, 100 или 150 мм.
В вакуумной напылительной системе устанавливаются магнетроны ведущего производителя – компании Angstrom Science Inc (США).
Магнетроны могут работать от блоков питания постоянного тока или ВЧ генераторов. Мощность блоков питания и ВЧ-генераторов подбирается исходя из размера распыляемого магнетрона, по умолчанию для магнетронов с мишенями 50, 75 и 100 мм используются блок питания постоянного тока мощностью 1 кВт и ВЧ генератор мощностью 600Вт. Возможна одновременная работа магнетронов, для этого в вакуумной напылительной системе устанавливается несколько блоков питания постоянного тока или согласующих устройств ВЧ-генератора.
Магнетроны универсальные, т.е. могут работать с источниками питания постоянного тока и ВЧ-генераторами. По умолчанию в данной вакуумной напылительной системе устанавливаются магнетроны с косвенным охлаждением распыляемой мишени и с регулировкой угла наклона магнетрона (см. фото). Данные магнетроны могут работать в очень широком диапазоне давлений: 5х10-4 ... 5х10-2 торр (мм.рт.ст.)
Магнетроны регулируются по высоте в ручном режиме.
Легкая смена мишеней магнетронов – не требуется откручивание болтов, винтов или гаек – достаточно рукой открутить анод, заменить мишень, закрутить анод. Не требуется специальная подготовка мишеней (высверливание отверстий и нарезание резьбы, и т.д.).
Каждый магнетрон снабжен пневматической заслонкой, защищающей мишень от напыления (загрязнения) другими источниками.
Возможна (по согласованию с заказчиком) установка магнетронов в следующих модификациях:
- для распыления ферромагнитных материалов
- высокотемпературная версия, позволяющая нагревать магнетрон до 200С без водяного охлаждения
- высоковакуумная версия (диапазон работы магнетрона смещён в область высокого вакуума).

Ток разряда магнетрона может регулироваться в диапазоне 0,1 - 3 А. Магнетроны могут работать с мишенями толщиной 0,2 – 9.5 мм.
Возможность работы с тонкими фольгами позволяет использовать их для напыления тонких слоёв дорогих материалов, изготовление мишеней обычных толщин которых дорого. Напыление производится с расстояния 5 – 30 см до подложки.
Все внешние узлы магнетрона выполнены из нержавеющей стали. Катод – сверхчистая бескислородная медь, полученная электролитическим осаждением. Пневматическая заслонка производства Angstrom Sciences Inc (США), выполенная на базе надёжного вакуумного ввода вращения пр-ва США и карданного механизма передачи вращения в месте регулировки угла наклона магнетрона, что значительно повышает надёжность заслонки.

Блок питания постоянного тока пр-ва ADLБлок питания постоянного тока пр-ва ADL Ток разряда магнетрона может регулироваться в диапазоне 0,1 - 3 А. Магнетроны могут работать с мишенями толщиной 0,2 – 9.5 мм. Возможность работы с тонкими фольгами позволяет использовать их для напыления тонких слоёв дорогих материалов, изготовление мишеней обычных толщин которых дорого. Напыление производится с расстояния 5 – 30 см до подложки. Все внешние узлы магнетрона выполнены из нержавеющей стали. Катод – сверчистая бескислородная медь, полученная электролитическим осаждением.
С магнетроном пневматическая заслонка производства Angstrom Sciences Inc (США), выполенная на базе надёжного вакуумного ввода вращения пр-ва США и карданного механизма передачи вращения в месте регулировки угла наклона магнетрона, что значительно повышает надёжность заслонки.

Для распыления диэлектрических материалов магнетрон запитан от ВЧ генератора c частой 13,56 МГц и мощностью 600 Вт (по согласованию с заказчиком может быть установлен ВЧ ВЧ генератор 600 Вт генератор другой мощности). Устанавливаемые в напылительных системах ВЧ-генераторы и автосогласующие устройства, произведённые в США, надёжны в работе, имеют более длительный ресурс работы по сравнению с конкурирующими ВЧ-генераторами и согласующими устройствами. Все это достигается благодаря использованию самых последних достижений и современной компонентной базе. ВЧ генератор имеет имеет удобную для работы переднюю панель, на которой расположен дисплей, индикаторы состояния и кнопки управления. Дисплей выводит всю необходимую для работы и контроля информацию  

Возможны конфигурации магнетронного распыления:
- несколько магнетронов работают последовательно от одного блока питания постоянного тока;
- несколько магнетронов работают последовательно от одного ВЧ-генератора с одним согласующим устройством;
- один магнетрон (или несколько) работает с источником постоянного тока, второй (или несколько) магнетрон работает с ВЧ-генератором;
- возможно установить переключатель, позволяющий магнетрону работать как от блока питания постоянного тока, так и от ВЧ-генератора.

ВЧ-генератор, используемый для питания магнетрона, может быть использован для создания ВЧ-плазмы для чистки подложки (при отсутствии ВЧ генератора для питания магнетрона можно приобрести бюджетный ВЧ генератор мощностью 100Вт, который будет использоваться только для создания плазмы для чистки подложки).
Данные методы чистки подложкодержателя значительно увеличивают адгезию напыляемого слоя по сравнению с подготовкой обычным нагревом. Происходит лёгкое подтравливание образца, удаление загрязняющих слоёв и активация самого верхнего слоя образца.
Данные методы чистки рекомендуется использовать, если бюджет приобретения вакуумной напылительной установки не позволяет приобрести ионный источник (ионную пушку) для чистки с помощью ионного пучка.


Электронно-лучевой источник
    FerroTec (Германия). В вакуумной напылительной системе VACLEADER может быть установлен электронно-лучевой источник на один тигель, 4, 6, 8 тиглей. Объём тиглей может варьироваться от нескольких куб. см (3-4) до 100 куб.см.
    Возможна установка двух электронно-лучевых источников. В зависимости от того, должны электронно-лучевые источники работать последовательно или параллельно, устанавливается один или два блока питания.
    Мощность высоковольтных блоков питания электронных источников варьируется от 3 до 12 кВт (испарение большего количества материала и более тугоплавких материалов требует большей мощности).
    В электронно-лучевом источнике используются несколько типов развёрток электронного луча, что позволяет подобрать развертку для лучшего конкретного материала. Система мгновенного гашения дуги, высокая стабилизация электронного луча, ручное или автоматическое управление разверткой луча, управление нитью накаливания и контроль тока эмиссии – всё это обеспечивает надежность и удобство работы с ЭЛИ в вакуумной напылительной установке VACLEADER.
    Если у заказчика есть предпочтения по производителю ЭЛИ, в вакуумную напылительную установку может быть установлен электронно-лучевой испаритель данного производителя.


Оборудование для резистивного испарения
В вакуумной напылительной системе VACLEADER может быть установлено два источника резистивного напыления, подсоединённые к блоку питания мощностью 3 кВт для последовательного испарения метариалов.
Источник питания мощностью 3 кВт (может работать в двух режимах: 5 В, 600А или 10 В, 300 А) производства Sycon (США) обеспечит прецизионную и надёжную работу испарителей. В качестве испарителей используются лодочки из тугоплавких материалов. В данной вакуумной напылительной установке по умолчанию установлены лодочки с напылением тонкого керамического слоя, что позволяет уменьшить прилипание испаряемого материала к лодочке и уменьшает испарение самого материала лодочки. Несмотря на то, что лодочки с покрытием керамическим слоем требуют большего на 30-50% подвода мощности, сам процесс резистивного испарения становится более чистым, что позволяет получать более чистые плёнки. Мощность блока питания 3 кВт позволяет без проблем проводить напыление из лодочек с керамическим покрытием (другие производители, как правило, используют блоки питания мощностью 1-2 кВт).
Заслонки лодочек оснащены пневматическим управлением, заслонки защищают испарители от загрязнения другими источниками напыления.
• Водоохлаждаемые токовводы
• Лодочки с керамическим покрытием
• Пневматические заслонки над каждым источником испарения
• Блок питания 3 кВт


Источник ионов
В системе установлен ионный источник для проведения ионной обработки образцов:
- ионная очистка
- активация поверхности
- возможность дополнительной ионной обработки (ассистирования) в процессе напыления покрытий.

В комплект поставки входит:
Ионный источник с нитью накала для нейтрализации ионного пучка
• Ионный источник
• Блок питания
• Контроллер
Ионный источник выполнен в бессеточном варианте и обеспечивает распыление внутренних частей не более 1х10-5 г/год. Это гарантирует чистоту ионного пучка. Сила тока пучка ионов не менее Ионный источник с нитью накала для нейтрализации ионного пучка0.5А при силе анодного тока 2А. Энергия ионов 20-200эВ. Ионный источник стабильно работает при давлении 5х10-3 tорр и ниже. Масса источника не более 700 грамм, габаритный диаметр источника не более 6 см. С целью нейтрализации выходящего из ионного источника ионного пучка использутеся нить накала для эмиссии электронов. В результате ионный пучок нейтрализуется, и чистка (или ассистирование) проходят с помощью пучка нейтральных атомов аргона, что значительно упрощает чистку или ассистирование диэлектрических подложек (или ассистирование нанесению диэлектрических покрытий). Подача аргона для создания ионного пучка осуществляется с помощью регулятора расхода газа компании Alicat Scientific (США).

Блок питания ионного источника управляет работой источника в автоматическом режиме, управляет работой регулятора расхода газа. Блок питания имеет блокировки по току, напряжению, мощности, возникновению дуги и наличию водяного охлаждения. Имеются аналоговый и цифровой выходные сигналы.
Блок питания ионного источника управляет работой источника в автоматическом режиме, управляет работой регулятора расхода газа


Контроллер блока питания ионного источника контролирует параметры и управляет работой ионного источника, блока питания и регулятора расхода газа, позволяет сохранять значения параметров работы ионного источника (до 4-х рецептов).
Контроллер блока питания ионного источника контролирует параметры и управляет работой ионного источника, блока питания и регулятора расхода газа

Компания Kaufman and Robinson (США) производит ионные источники в течение более чем 40 лет, имеет огромный опыт, производит ионные источники разных типов, и безусловно является мировым лидером по производству ионных источников.


Система контроля толщины покрытия

Контроль толщины покрытий осуществляется кварцевым датчиком, подключенным к контроллеру измерения Контроль толщины покрытий осуществляется кварцевым датчиком, подключенным к контроллеру измерения толщины.толщины. На дисплее контроллера отображается текущая скорость напыления и толщина покрытия. Возможности его таковы, что позволяют пользователю в дальнейшем самостоятельно программировать скорость напыления, толщину, заносить данные в память для формирования технологических рецептов.
• Контроллер измерения толщины (1шт.)
• Водоохлаждаемый кварцевый датчик с пневматической заслонкой (2 шт.)
Контроллер обладает следующим функционалом:
- имеет графический LCD дисплей.
- имеет возможность хранения программ на 50 плёнок, рецептов на 9 процессов (99 слоёв каждый).
- обеспечивает работу с кварцевыми кристаллами на 6 МГц.
- имеет 8 реле, 8 входов, RS-232 интерфейс.
- обеспечивает измерение скорости напыления 10 измерений в секунду (имеет разрешающую способность по частоте не хуже 0.03 Гц)

Система подачи технологических газов

Система подачи технологических газовСостоит из нескольких регуляторов расхода газа компании Alicat Scientific, отсечных клапанов, блока питания с дисплеем, что позволяет производить управляемый напуск газов в рабочую камеру (например, аргона и азота, или аргона и кислорода).
Количество регуляторов расхода газа задаётся заказчиком вакуумной напылительной установки. Каждый регулятор расхода газа откалиброван по 30 газам и газовым смесям, выбор газа и задание расхода осуществляется с дисплея контроллера или с компьютера.
Регуляторы расхода подачи газа работают по вязкостному принципу (не тепловые). Это обеспечивает высокую надежность работы, безинерционность (что важно для обеспечения требуемого потока газа при работе ионного источника или магнетрона).


Система нагрева

Система нагрева состоит из блока нагревателей типа ТЭН, блока управления и контроля нагревом.
Осуществляется нагрев до 250° и поддержание заданного значения в технологическом процессе по обратной связи через термопару. Возможен нагрев до повышенных температур – 350°- 400°С при использовании кварцевых ламп нагрева, но в этом случае повышается скорость газовыделения из оснастки/камеры и время технологического цикла может заметно возрасти.
• Блок нагревателей типа ТЭН мощностью 2-3 кВт (возможна установка нескольких штук) или
• Кварцевые лампы
• Система контроля и поддержания температуры на базе контроллера (возможность встраивания в АСУ ТП)


Подложкодержатель

В вакуумной напылительной системе VACLEADER производителем предлагается широкий выбор внутренней оснастки и подложкодержателей. Напылительная установка позволяет напылять изделия разной формы, размера, под разные задачи заказчика. При отправке запроса на вакуумную напылительную установку подробно опишите вашу задачу, под которую мы подберём соответствующую вашей задаче оснастку и подложкодержатель.
Примеры подложкодержателей:
- невращающющийся подложкодержатель диаметром от 100 до 300 мм;
- невращающийся подложкодержатель со встроенным внутренним охлаждением;
- вращающийся плоский подложкодержатель диаметром от 100 до 300 мм;
- вращающийся плоский подложкодержатель со встроенным внутренним охлаждением;
- плоский планетарный механизм на 3-6 пластин диаметром от 100 до 200 мм;
- плоский планетарный механизм для напыления на свёрла (несколько десятков свёрел);
- вращающийся полусферический держатель;
- подложкодержатель, вращающийся под наклоном к вертикальной оси (постоянным или изменящимся)

При обычном (не планетарном) вращении подложкодержателя его скорость вращения регулируется в пределах 0-20 об/мин.
При планетарном вращении подложкодержателя обсеспечивается равномерность напыления 2% на пластины диаметром 100 мм.

В напылительной установке может быть установлен нагревательный элемент с программируемым блоком управления, что позволяет нагревать подложкодержатель до 250°С (нагрев подложкодержателя можно сделать до 400°С или 800°С, в этом случае камера изготавливается с водяным охлаждением). При использовании планетарного механизма нагрев выше 400°С не предлагается.
По умолчанию нагрев до температур ниже 300°С обеспечивается ТЭНом, а выше 300°С - кварцевой лампой. Температура измеряется с помощью термопары, подключенной к блоку управления регулировки температуры. Блок управления регулировки температуры позволяет задавать время нагрева до требуемой температуры.

На подложкодержатель может быть подано постоянное или ВЧ смещение.


Автоматическое управление

Вакуумная напылительная система VACLEADER может поставляться с полуавтоматическим или с полностью автоматической системой управления на базе ПЛК. Учитывая ненадёжность персональных компьютеров, мы не делаем автоматическую систему управления на базе ПК и операционной системы Windows.
Поставляемая нами система автоматического управления вакуумной напылительной установкой базируется только на ПЛК, что обеспечивает более высокую надёжность и более быстрое реагирование на изменение параметров работы узлов установки (real time control). Для вывода информации и управления системой используется цветной сенсорный дисплей. Автоматическое управление позволяет запрограммировать все этапы работы вакуумной напылительной установки, включая процесс откачки, напуска газа, чистки подложки, напыления, вентилирования камеры после откачки и т.д.
Автоматическое управление напылительной установки позволяет проводить процесс вакуумного напыления как в полностью автоматическом режиме, так и в ручном режиме.
В установке предусмотрены все системы блокировок по воде и вакууму для обеспечения штатного функционирования компонентов и оборудования в целом.
Система управления напылительной установки имеет три уровня доступа: оператор, технолог, сервис. Возможна русификация интерфейса программного обеспечения.

В дополнение, следует отметить, что компания РОБВАК является официальным поставщиком фирм, оборудование которых представляет, поэтому, приобретая оборудование у нас, Вы получаете не только надежное и качественное техническое решение, но и полный комплект гарантийных обязательств по наладке, обслуживанию и своевременному реагированию сертифицированных специалистов на возможные нештатные ситуации с оборудованием.
Как правило, одну вакуумную напылительную систему VACLEADER мы всегда стараемся иметь в нашей компании для демонстрационных целей.


Вы можете посетить нас во Фрязино (Московская обл) и лично протестировать работу данной вакуумной напылительной системы.