Вакуумные напылительные системы
Термическое оборудование
Оборудование для напылительных систем
Восстановление б/у вакуумных систем
Проектирование и создание вакуумных систем
Напыление покрытий вакуумными методами

Контакты компании РОБВАК
Тел.: +7 (495) 966 28 14
Email: request@robvac.com
Главная | Каталог | Вакуумные напылительные системы | Установка магнетронного напыления SMARTLAB | Лабораторная вакуумная напылительная установка SmartLab, производство РОБВАК, Россия

Лабораторная вакуумная напылительная установка SmartLab, производство РОБВАК, Россия



Напылительная система SMARTLAB-M выпускается в двух разновидностях – SMARTLAB-M1 с одним магнетроном на базе камеры размером 23х35 см и SMARTLAB-M2 с двумя магнетронами на базе камеры размером 35x45 см.



SMARTLAB-M1, базовая конфигурация:Вакуумная магнетронная напылительная установка SmartLab-M1 производства РОБВАК (Россия)

• Вакуумная камера

    • размер 23х35 см
      D-форма (в горизонтальном разрезе)
      фронтальная дверь с вакуумным окном
      нержавеющая полированная сталь
      Установлена на раме из нержавеющей стали

• Магнетрон – 1 шт

    • Косвенное охлаждение мишени
      Сбалансированная магнитная система
      Диаметр мишени 50 мм
      Опция: магнетрон с диаметром мишени 75 мм

• Блок питания магнетрона – 1 шт

    • Высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством мощностью 300 Вт (распыление металлов и диэлектриков)
      Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 300 Вт
      Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 600 Вт (для магнетрона с диаметром мишени 75 мм)
      Опция: Блок питания постоянного тока 1 кВт (распыление металлов)

• Откачная системаПлазма работающего магнетрона вакуумной магнетронной напылительной системы SmartLab-M1 производства РОБВАК (Россия).

    • Турбомолекулярный насос
      Пластинчато-роторный насос
      Опция: спиральный насос


• Дополнительное оборудование

    • Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
               Опция: планетарный механизм на 3 планеты по 7 см
      Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10-9 торр
      Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин, 2 шт
               Опция: 3 регулятора расхода газа
      Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
      Нагрев кварцевой лампой до 200С
          Опция: нагрев ТЭНом из нержавеющей стали (позволяет нагревать во время напыления)

• Система управления

  •           Кнопочная (ручное включение всех узлов)
              Опция: полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)

 

 Описание системы SMARTLAB-M1 

Недорогая вакуумная магнетронная напылительная установка SMARTLAB-M1  с одним магнетроном, производимая нашей компанией, является оптимальным выбором для университетской лаборатории. Использование проверенных узлов импортных и отечественных производителей, а также узлов собственного производства – всё это является залогом надёжного функционирования напылительной установки. При проектировании вакуумной магнетронной напылительной установки SMARTLAB-M нами ставилась задача создать максимально надёжную систему, которая может быть доступна университетским лабораториям при ограниченности бюджетных средств. 
Работа магнетронов производства РОБВАК (Россия) в вакуумной магнетронной напылительной системе.
Вакуумное напыление производится сверху вниз (подложкодержатель установлен на дне камеры, магнетроны - сверху).
Поставляемый в базовой комплектации высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством позволяет проводить распыление как металлов, так и деэлектриков (если необходимо распылять только металлические мишени, рекомендуем приобрести блок питания постоянного тока, так как скорость распыления в этом случае будет значительно выше).
Всё оборудование находится внутри стойки управления, что позволяет легко и удобно расположить данную бюджетную вакуумную магнетронную напылительную систему в любом месте лаборатории.
Рама системы на колёсных опорах (колесо с установленной рядом регулируемой по высоте опорой), что позволит легко переставить данную вакуумной напылительную систему в другое место лаборатории.

SMARTLAB-M2, базовая конфигурация:

• Вакуумная камера

    • размер 35х45 см
      D-форма (в горизонтальном разрезе)
      фронтальная дверь с вакуумным окном
      нержавеющая полированная сталь
      Установлена на раме из нержавеющей стали

• Магнетрон – 2 шт

    • Косвенное охлаждение мишени
      Сбалансированная магнитная система
      Диаметр мишени 50 мм
      Заслонки для магнетронов
      Опция: магнетрон с диаметром мишени 75 мм

• Блок питания магнетрона – 2 шт

    • Блок питания постоянного тока 1 кВт (распыление металлов)
      Высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством мощностью 300 Вт (распыление металлов и диэлектриков)
      Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 300 Вт
      Опция: Высокочастотный генератор с автоматическим согласующим устройством 600 Вт (для магнетрона с диаметром мишени 75 мм)
      Опция: один блок питания постоянного тока с переключением между двумя магнетронами

• Откачная система

    • Турбомолекулярный насос
      Пластинчато-роторный насос
      Опция: спиральный насос

• Дополнительное оборудование

    • Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
               Опция: планетарный механизм на 3 планеты по 10 см
      Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10-9 торр
      Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин, 2 шт
               Опция: 3 регулятора расхода газа
      Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
      Нагрев кварцевой лампой до 200С
          Опция: нагрев ТЭНом из нержавеющей стали (позволяет нагревать во время напыления)

• Система управления

  •           Кнопочная (ручное включение всех узлов)
              Опция: полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)

 

Описание системы SMARTLAB-M2
Недорогая вакуумная магнетронная напылительная установка SMARTLAB-M2  с двумя магнетронами, производимая нашей компанией, является оптимальным выбором для университетской лаборатории. Использование проверенных узлов импортных и отечественных производителей, а также узлов собственного производства – всё это является залогом надёжного функционирования напылительной установки. При проектировании вакуумной магнетронной напылительной установки SMARTLAB-M нами ставилась задача создать максимально надёжную систему, которая может быть доступна университетским лабораториям при ограниченности бюджетных средств. 
Вакуумное напыление производится сверху вниз (подложкодержатель установлен на дне камеры, магнетроны - сверху).
Поставляемый в базовой комплектации высокочастотный генератор с ручным согласующим устройством позволяет проводить распыление как металлов, так и деэлектриков (если необходимо распылять только металлические мишени, рекомендуем приобрести блок питания постоянного тока, так как скорость распыления в этом случае будет значительно выше).
Всё оборудование находится внутри стойки управления, что позволяет легко и удобно расположить данную бюджетную вакуумную магнетронную напылительную систему в любом месте лаборатории.
Рама системы на колёсных опорах (колесо с установленной рядом регулируемой по высоте опорой), что позволит легко переставить данную вакуумной напылительную систему в другое место лаборатории.