Вакуумные напылительные системы
Термическое оборудование
Оборудование для напылительных систем
Восстановление б/у вакуумных систем
Проектирование и создание вакуумных систем
Напыление покрытий вакуумными методами

Контакты компании РОБВАК
Тел.: +7 (495) 966 28 14
Email: request@robvac.com
Главная | Каталог | Вакуумные напылительные системы | Установка напыления оптических покрытий CORAS | Установка напыления оптических покрытий CORAS, производство РОБВАК, Россия

Установка напыления оптических покрытий CORAS, производство РОБВАК, Россия



Современная вакуумная напылительная система для электронно-лучевого напыления, собранная из комплектующих ведущих производителей, с полностью автоматической системой контроля, предназначенная для вакуумного напыления в оптических приложениях: оптических фильтров, оптических зеркал, линз и т.д.
Вакуумная напылительная система CORAS позволяет проводить вакуумное напыление тонких плёнок высокого качества, вакуумное напыление сопровождается ионным ассистированием низкоэнергетичными ионами. Контроль напыления с помощью Установка напыления оптических покрытий CORAS,  производство РОБВАК, Россия оптического монитора позволяет точно контролировать процесс вакуумного напыления, а система автоматического управления, обеспечивающая высокий уровень контроля за техническим процессом, даст полную информацию о всех параметрах процесса и оборудования, обеспечит оптимальную работу оборудования, и повысит коэффициент использования вакуумной напылительной системы. Большой сенсорный экран под управлением LabView позволит получить лёгкий и быстрый доступ к рабочим параметрам вакуумной напылительной системы CORAS.

Данная вакуумная напылительная система предназначена для промышленного применения. Высокое качество сборки, комплектующие только проверенных и самых надёжных производителей, всё это позволяет использовать данную вакуумную напылительную установку для серийного промышленного производства, система может работать 24 часа / 7 дней в неделю.

Стоимость данной установки зависит от количества согласованных с заказчиком опций и составляет более 300 тыс. долларов (в зависимости от комплектации).

Вакуумная напылительная установка CORAS для электронно-лучевого напыления поставляется с установленной технологией получения требуемых оптических покрытий, а работающий в компании специалист по напылению оптических покрытий (имеющий степень доктора) впоследствии окажет необходимую поддержку в расчёте и поставки технологии для новых оптических приложений. Этому способствует наличие в компании специального программного обеспечения для расчёта оптических покрытий, наличие самой вакуумной напылительной установки на площадке производителя (на которой постоянно ведутся работы по оказанию услуг по напылению оптических покрытий, а также отработка разных новых технологий), а также большой опыт в области напыления оптических покрытий и создания установок для нанесения оптических покрытий.

Описание узлов и компонентов вакуумной системы для нанесения оптических покрытий CORAS:


Вакуумная камера электронно-лучевой напылительной системы

Камера электронно-лучевой напылительной системы изготовлена из нержавеющей стали, имеет внутренний размер 40 (лабораторная версия), 70 или 90 см. Внутренняя поверхность вакуумной камеры - электрополированая. Вакуумная камера имеет два окна на двери. Вакуумная камера имеет разные фланцы для подключения приборов стандартов CF1.33" и CF2.75", несколько отверстий диаметром 26 и 33 мм. Вакуумная камера имеет водоохлаждаемые стенки.

 

Рама вакуумной камеры

Рама изготовлена из нержавеющей стали марки 304 (согласно классификации сталей по американскому стандарту NIST), и может быть установлена в чистой комнате.

 

Подложкодержатель

Подложкодержатель выполнен в виде купола или планетарного механизма. В центре подложкодержателя механизма установлен полый вал, позволяющий установить оптический монитор.