Вакуумные напылительные системы
Термическое оборудование
Оборудование для напылительных систем
Восстановление б/у вакуумных систем
Проектирование и создание вакуумных систем
Напыление покрытий вакуумными методами

Контакты компании РОБВАК
Тел.: +7 (495) 966 28 14
Email: request@robvac.com

Магнетроны для вакуумного магнетронного напыления.

планарный магнетрон с круглой мишенью для вакуумного напыленияНесмотря на то, что процесс магнетронного напыления известен давно, магнетроны для вакуумного напыления продолжают эволюционировать, подстраиваясь под новые задачи появляющихся новых приложений. Наша компания нацелена на улучшение характеристик выпускаемых магнетронов, чтобы полностью удовлетворить возрастающим требованиям к вакуумному магнетронному напылению в самых сложных приложениях. Производимые нами магнетроны позволяют обеспечить высокую стабильность технологических процессов. Также наши магнетроны имеют большой коэффициент использования мишеней.

 

Планарные магнетроны для плоских круглых мишеней.


планарный магнетрон с круглой мишенью для вакуумного распыленияПроизводимая линейка планарных магнетронов для круглых мишеней имеют продуманную конструкцию, которая позволяет легко заменить мишень. 
Магнетроны имеют сбалансированную магнитную систему и косвенное охлаждение распыляемой мишени. Детали магнетрона, сделанные из нержавеющей стали, электрополированные.

Магнетроны производятся для распыляемых мишеней диаметром 50, 75, 100, 150, 200 мм.

Видео работы планарного магнетрона с круглой мишенью

 

Протяженные планарные магнетроны для плоских прямоугольных мишеней

Планарный протяженный магнетрон для вакуумного напыленияПланарный протяженный магнетрон для вакуумного распыления

Для напыления на изделия больших размеров используются протяженные магнетроны. 
Производимые нами планарные протяженные магнетроны легко устанавливаются внутри камеры на подставке из рамы, и таким образом, жёстко не привязаны к имеющимся к вакуумной камере фланцам или отверстиям. Это даёт большую гибкость по местоположению магнетронов внутри вакуумной камеры. 
Протяженные планарные магнетроны выпускаются как в нашей стандартной линейке размеров (с фиксированной шириной магнетрона и определённым размером длин), а также могут быть изготовлены под размеры мишени заказчика.
Протяженные планарные магнетроны могут работать с блоками питания постоянного тока, ВЧ генераторами, блоками питания средней частоты, биполярными и униполярными блоками питания, высокоимпульсными блоками питания (HIPIMS).  
Протяженные магнетроны выпускаются для мишеней шириной от 15 см, длиной от 15 см до 2 метров.

 

 

 

 Список подкатегорий в данной категории: 

Магнетроны под заказ

Магнетроны для протяженных цилиндрических вращающихся мишеней

Протяженные магнетроны для плоских прямоугольных мишеней



Список товаров в данной категории: