Вакуумные напылительные системы
Термическое оборудование
Оборудование для напылительных систем
Восстановление б/у вакуумных систем
Проектирование и создание вакуумных систем
Напыление покрытий вакуумными методами

Контакты компании РОБВАК
Тел.: +7 (495) 966 28 14
Email: request@robvac.com

ИОННАЯ ОПТИКА СЕРИИ OPTIBEAM



Источники ионов компании Кауфман энд Робинсон используют много-апертурные решётки, изготовленные из тугоплавких металлов или графита. Решётки могут быть плоскими или выпуклыми. Форма решётки и структура (размер, расположение) отверстий на решётке формируют траектории ионов, вылетающих из ионной пушки. Объединение всех траекторий ионов создаёт форму ионного пучка, которая характеризуется профилем ионного тока ионного пучка.